喜讯:我院参与的协同创新项目正式获批立项
由海宁市科技局获悉,海宁集成电路与先进制造研究院参与申报的2021年度海宁市协同创新示范项目“全尺寸晶圆精密抓取转运机器人高精度校准系统研发”已正式获批立项。
该项目由浙江龙宇智能科技有限公司牵头,我院与海宁知形科技有限公司参与共研,项目将形成一系列软、硬件与知识产权成果,并基于知形科技的晶圆精密抓取转运机器人开展检测与校准应用验证。作为技术支撑单位,我院在项目中承担机器人校准装备研发任务,为校准方法与应用验证等研究工作的顺利实施提供关键基础保障。
项目完成后,将提升面向半导体工厂的地面全感知高速物料转运系统的精度,解决半导体制造等高精度检测、加工及制造等行业中工业机器人精度不足带来的影响;提高芯片质量、良率及企业生产效率,大幅度降低工厂人力成本,为海宁泛半导体产业的效能升级、产业升级与智能革新提供有力支撑;同时还将逐步拓展工业机器人应用产业场景,丰富工业机器人上下游产业企业类型与数量,实现工业机器人深度服务于半导体产业,促进泛半导体产业的蓬勃高质量发展。
附件:海宁市协同创新项目表(见二维码)