特种光源实验室_科研机构_科研机构_海宁集成电路与先进制造研究院

特种光源实验室

研究院建有特种光源实验室，针对半导体制造所需的特种激光器、比如功率半导体激光退火设备所需的特种光源开展研发，目前国内所需的此类激光器都是从国外采购的，属于卡脖子的技术和产品。